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    半導體實驗室建設的基本要求

    發布時間: 2025-03-24  點擊次數: 370次



    半導體實驗室的建設要求涵蓋環境控制、設備系統、材料結構及管理規范等多個方面,博泰小編帶大家了解相關知識。


    一、空間布局與分區


    1、?氣流設計?采用層流模式,空氣從潔凈區向低潔凈區單向流動,避免污染擴散。


    2、?功能分區?劃分為潔凈區、非潔凈區及輔助區,實現人流/物流分離。設備間大于等于1.5米,避免交叉污染。


    、設備與材料要求


    1、?凈化系統?

    配置高效過濾器, 空調系統需滿足溫濕度與潔凈度雙重控制需求。


    2、?特種系統?

    超純水、超純氣體及防泄漏管道系統,廢氣處理系統與應急設施。


    3、?材料選擇?墻面/頂板采用50mm厚夾芯彩鋼板等防塵材料,地面需耐腐蝕、抗靜電。


    三、管理與安全規范


    1、?人員管理?

    進入實驗室要穿戴潔凈服、手套、頭罩等防護裝備,禁止攜帶外部物品,實驗后需清理工作臺并登記儀器使用情況。


    2、?危險品操作?

    應該要嚴格規范易燃、有毒化學品的使用流程,廢棄物按標準處理。設置緊急停機按鈕與消防設備,確保操作安全。


    五、其他要求

    建筑需具備承重、抗震性能,采用耐火材料。 照明≥300LX,新風補充量占總送風量的10%-30%。




    半導體實驗室建設的基本要求



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